科研炉管设备
功能
技术参数
技术参数
适配晶圆尺寸：多尺寸（可定制）
反应气体：CH4、CO2、H2、N2（可定制）
反应腔材质：高纯石英（可定制）
最大载片量：50片/批（可定制）
