6寸碳化硅高温氧化炉管设备
功能
技术参数

Bhadra™立式高温氧化炉HBO150

功能

1.高温氧化工艺
2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺

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86-18924169069 / 020-31569374

技术参数

适配晶圆尺寸:4,6寸

适用衬底材料:碳化硅

适用领域:功率半导体、衬底材料、科研

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