12寸立式氧化退火炉管设备
功能
技术参数
Bhadra™ 立式高温氧化炉HBO300
功能
主要应用于12英寸中高温氧化和退火工艺，设备可以制作出工艺需要的二氧化硅膜，对产品起保护、钝化、缓冲介质等作用，也可以用于消除晶格缺陷作用，激活原子排列。
或电话联系：
86-18924169069 / 020-31569374
技术参数
晶圆尺寸：12英寸
工艺类型：干氧、湿氧、二氯乙烯氧和高温退火
适用材料：硅
应用领域：功率半导体、集成电路、衬底材料、科研
